MRT-P/B系列 主動控制隔振平臺

2017-09-06


性能指標:

1. 隔振頻率: 1—200Hz

2. 隔振性能:>5Hz  90%,  >10Hz  95%  (@ v=0.1mm/s)

3. 負載能力:根據平臺尺寸而定

4. 單作動器最大補償力:  ±10N (垂直),±10N(水平)

5. 沖擊響應時間:≤300ms

6.  供電:220V   50W.

7. 工作溫度及條件: 溫度 5-40℃.  濕度  0-60%.工作條件小于2500m海拔高度.

 

系統涉及概念及參數:

單個作動器最大補償力:為系統單個作動器對平臺振動所能施加反作用力的最大值。

沖擊響應時間:為系統受到一定量的沖擊振動后恢復穩定所經歷的時間;系統沖擊響應時間:300ms。

音圈電機:因其結構類似于喇叭的音圈而得名,具有高頻響、高精度的特點。根據振動環境和系統總質量的不同,最大可提供±10N的力。

傳感器:加速度傳感器,是感知外界振動信號加速度大小的器件。傳感器量程 0.5g,頻率范圍0.05-300Hz,靈敏度10V/G

控制器:主要負責信號放大、濾波、變換、采集數據,計算,功率放大的模塊。


應用領域:

掃描探針顯微鏡(AFM/LFM/STM)

激光干涉儀

激光共聚焦顯微鏡

對振動有極高要求的儀器設備



沖擊響應時間: 


經主動控制

 

未經主動控制


 

隔振后的速度值:


經主動控制


未經主動控制


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